上海联兵环保科技有限公司,专业生产粗效空气过滤器、中效空气过滤器、高效空气过滤器、空气过滤棉等空气过滤设备。产品广泛用于电子技术、医药卫生、生物制品、食品饮料、机电工程设备、精密仪表、冶金化工、涂装、空调、印刷、环保行业等!产品销售遍及上海、江苏、山东、湖南、福建、江西、北京等全国各地及国外市场。
分散式净化空调系统
(1)在集中空调的环境中设置局部净化装置(微环境/隔离装置、空气自净器、层流罩、洁净工作台、洁净小室等)构成分散式送风的净化空调系统。也可称为半集中式净化空调系统
(2)在分散式柜式空调送风的环境中设置局部净化装置(高效过滤器送风口、高效过滤器风机机组、洁净小室等)构成分散式送风的净化空调系统。
5 .1.5洁净厂房空气循环系统[2-31
(1)集中送风方式
这种方式一般是采用数台大型新风处理机组和净化循环机组集中设置在空调机房内,空调机房可位于洁净室的侧面或顶部。经过温度、湿度处理和过滤后的空气由离心风机或轴流风机加压后通过风道送入送风静压箱,再经由高效过滤器或超高效过滤器过滤后送人洁净室。回风经格栅地板系统,流人回风静压箱再回到净化循环系统,如此反复循环运行。集中送风方式的结构形式。
(2)隧道洁净室送风方式http://www.shlbhb.com
这种送风方式一般把洁净室划分为生产核心区、维护区,生产核心区要求高洁净度和严格的温、湿度控制,设在单向流送风区内;维护区要求较低,设置生产辅助设备或无洁净要求的生产设备的尾部和配管配线等‘6]。生产区为送风区,普通传递窗维护区为回风区,构成空气循环系统。一般隧道式送风是由多台循环空气系统组成,所以其中一台循环机组出现故障不会影响其他区域的生产环境洁净度,并且各个循环系统可根据产品生产需要进行分区调整控制。隧道送风方式的结构形式http://www.shlbhb.com
(3)风机过滤单元送风方式
这是在洁净室的吊顶上安装多台风机过滤单元机组(Fan Filter Unit,简称FFU),构成净化循环机组,不需要配置净化循环空调机房,送风静压箱为负压。空气由FFU送到洁净室,从回风静压箱经两侧夹道回至送风静压箱,根据洁净室的温度调节需要,一般在回风夹道设干式表冷器。新风处理机可集中设在空调机房内,处理后新风直接送入送风静压箱。因送风静压箱为负压,有利于高效过滤器顶棚的密封;但由于FFU机组台数较多,在满布率较高时,一般投资较大,运行费用亦多,有的FFU噪声较大,选用时需要注意。FFU送风方式
(4)模块式风机单元送风方式它是由送风机安装在HEPA或ULPA之上,1台送风机可配数台高效过滤器的空气循环系统,这种模块式风机单元(Fan Module Unit,简称FMU)循环系统是无风管道方式,空气输送速度较低,送风淋室风机和过滤器维修较方便,能量消耗较少。
(5)微环境+开放式洁净室的送风方式
这种方式是为了确保日益要求生产环境极为严格的半导体芯片生产的关键工序或设备的微环境控制达到净化风淋室高洁净度等级(如0.05~O.ltl.m,IS0 1级),而其周围的开放式大面积洁净环境仅保持在相对较低的洁净度等级(如IS0 5级或IS0 6级),微环境内控制洁净度严格的单向流洁净环境,而开放式洁净室为单向流或混合流洁净室。这种方式的能量消耗较少,工艺布置灵活性好,建设投资和运行费用都可以降低。图5-13微环境洁净厂房

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