高效空气过滤器一般称为HEPA FILTER 和ULPA FILTER也可称为绝对过滤器 Absolute Air Filter，此类过滤器通常用于终端之位置，其过滤对象为低浓度之微细粒子,且具有级高之捕集效率是维持无尘室内洁净度最重要的过滤器，其捕集尘埃之原理如下:
滤过原理(Filtration)
扩散捕捉原理(Diffusion)
冲突原理(Impact)或称惯性原理(Inertia)
滤过原理(Filtration)
尘埃粒子通过滤材时，其大于滤材线维与线维之间距的例子被阻挡，也就是尘埃粒径大于间距就会有过滤效果。 如下图所示：
扩散捕捉原理(Diffusion)
粒径之微尘，由于布朗运动、重力、离子化等原因，在线维表面磨察通过，此时发生静电，尘埃即会附著于线维上达到捕集作用，其通过滤材风速越低， 粒径越小，其效果越佳。 如下图所示：
冲突原理(Impact)
空气在滤材线维间流动时，因粒子之流动惯性力作用，急速冲击于线维表面而附著，其通过滤材风速越快，效果越佳。如下图所示：
整体捕集效率
冲突原理对于微尘粒径＞0.1μm以上者其捕集效率最高；扩散捕捉对于微尘粒径≦0.05μm 以下之粒子具有较高之效率；而滤过原理则在三种捕集原理中，其捕捉之效率较低.
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