空气过滤器典型使用场所分析
1 芯片厂
当今,半导体芯片厂对生产环境空气洁净程度最挑剔,对空气过滤器的要求也最苛
刻。粘在芯片上的粉尘可能造成断路、短路而直接影响成品率。
芯片厂用的高效过滤器和风机过滤单元(FFU)出厂前要经过扫描测试。芯片厂不认钠焰法和DOP法的帐。芯片厂特别在意过滤器上可能的微量挥发元素。近几年出现了聚四氟乙烯PTFE纤维高效过滤材料,这种材料没有挥发物,但它带静电,过滤后的空气要进行电中和以消除离子,少了个隐患,多了个麻烦。
但当芯片的线宽小到0.5um时,人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害,于是,后建的芯厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。芯片厂说的化学过滤器就是活性炭过滤器,它的原理和制造工艺并不复杂。许多情况下,设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度,因此,芯片厂用的化学过滤器应具有两个特点:广谱吸附性能、足够多的吸附材料。如果能确定污染物种类,就可对吸附材料进行有针对性的化学处理,以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务,以帮助用户确定化学过滤器的使用情况,这就要求供应商中有搞化学过滤的专家,并与权威实验室有密切的关系。
半导体工业并非“无烟工业”,它也有环境问题。为降低环境风险,有些芯片厂的排风系统也装有化学过滤器。
2 机场空调系统
飞机场是宾客对城市的第一印象,机场空调系统表明主人的实力和空调设计师的水
平。在发达国家大型机场的空调系统中,空气过滤器常见配置为:
G4~F6预过滤器→活性炭过滤器→F7末端过滤器
F7过滤器(Ashhae Dust-spot 85%)是上档次的公共场所中最常见过滤器。经过F7过滤器后,空气含尘浓度可以达到旅游景区的水平。国家标准中规定候机厅可吸入颗粒物的浓度上限为0.15mg/m3,这是从卫生角度考虑的最低要求,机场室外空气也比这个浓度低.设计中,机场空调考虑的是档次,而不仅仅是卫生.
机场有汽油味,消除气味的活性炭过滤器成了发达国家机场空调中的标准配置.这里没多少技术可言.活性炭过滤器检验机场投资者和运营者的实力.
3 洁净室末端过滤器
过滤器是通用产品,不管什么等级的洁净室,所用的高效过滤器是一样的.一但过滤器的品质一有了保证,通风参数(换气次数或平均风速)就成了决定洁净工程质量的关键因素。表3是洁净室设计时应考虑的一些因素。
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