

面积㎡ |
洁净度级别 | ||
100 |
10,000 |
100,000 | |
<10 |
2~3 |
2 |
2 |
≥10~<20 |
4 |
2 |
2 |
≥20~<40 |
8 |
2 |
2 |
≥40~<100 |
16 |
4 |
2 |
≥100~<200 |
40 |
10 |
3 |
≥200~<400 |
80 |
20 |
6 |
≥400~<1000 |
160 |
40 |
13 |
≥1000~<2000 |
400 |
100 |
32 |
2000 |
800 |
200 |
63 |
注:表中的面积,对于单向流洁净室,指的是送风面积;对于非单向流洁净室,指的是房间面积。 |
洁净度级别 |
采样量,L/次 | |
≥0.5um |
≥5um | |
100 |
5.66 |
— |
10,000 |
2.83 |
8.5 |
100,000 |
2.83 |
8.5 |
A= |
C1+C2+…+Cn |
N |
M= |
A1+A2+…+An |
L |
SE= |
(A1-M)2+(A2-M)2+…(AL-M)2 |
L(L-1) |
采样点数L |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
>9 |
t |
6.31 |
2.92 |
2.35 |
2.13 |
2.02 |
1.94 |
1.90 |
1.86 |
— |
注:当采样点数多于9点时,不需要计算UCL。 |
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