上海联兵环保科技有限公司,专业生产粗效空气过滤器、中效空气过滤器、高效空气过滤器、空气过滤棉等空气过滤设备。产品广泛用于电子技术、医药卫生、生物制品、食品饮料、机电工程设备、精密仪表、冶金化工、涂装、空调、印刷、环保行业等!产品销售遍及上海、江苏、山东、湖南、福建、江西、北京等全国各地及国外市场。
(1)生产工艺设备的防污染管理
在洁净室内产品生产过程中生产设备的尘粒污染是不可忽视的,据资料介绍,在大规模集成电路生产过程中生产设备的发尘量要占总微粒污染量的30%左右,可见其影响之大。污染的类型,除了影响制作微细图形的微尘污染外,还有可使器件特性恶化的钠、钾等碱金属和铜、铁等重金属分子或分子级污染。所谓生产设备的污染,虽然有的是生产工艺固有的污染,但是还有源于设备制作材料、生产过程的原辅材料(包括反应气体、输送气体、吹扫气体和清洗用纯水等),工器具使用不当和机械运动及其润滑剂等的各类污染。
工厂洁净室设备管理内容,还有在产品生产过程中由于操作失误也会造成不应有污染。表10-15是集成电路生产过程中真空设备的污染类型。从各种洁净室内产品生产的不锈钢风淋室实践表明,加强洁净室内产品生产过程中生产工艺和按规定记录各类设备的运转状态及有关参数,记录和分析定期检查、维修、清洗状况,尤其注意定期检查转动部件、通信和安全报警装置以及自动装置等的完好状态。
工厂洁净室设备管理内容,建立各类设备技术状况、运行档案,将设备、仪器仪表说明书、产品资料以及图纸资料等分类编号妥善保管;设备维修和仪器仪表校正的记录;设备、仪器等的故障或事故记录;运行记录等均应分别汇编成册保管,以便掌握设备、仪器的完好状况和即时分析可能出现的各种问题,确保洁净室的正常、安全运行。
(5)定期检验、校正各类测试、测量仪器、仪表,确保测量、控制的准确、可靠若采用计算机管理、监控时,应定期检查洁净棚、校核其运转情况,并注意即时留下必要的记录。
洁净室管理的原则和内容:
(1)洁净室管理的原则
为了保持洁净室内的空气洁净度必须建立一套科学的、有效的维护管理规定,对于具体的某一洁净室在制定维护管理规定的,必须按自身的特点和具体的构造、空气洁净度等级、生产工艺要求以及配置的系统、设备情况确定,但是都应该以防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖和安全生产为宗旨,风淋室通用的洁净室维护管理的原则大体如下。
①进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬人以及相关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带人洁净室。
②操作管理技术,对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗;操作人员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭菌等。尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。
③严格各类设备、设施的维护管理,东莞风淋室制定相应的操作规程,保证各类设备、设施按要求正常运转,包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。
④清扫、灭菌管理,对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭菌以及方法、周期和检查作明确的规定,防止、消除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。
(2)洁净室维护管理内容
①人员管理,所谓洁净室的人员管理应包括:制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室洁净风淋室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。
②洁净服的管理,包括:洁净服采购和制作(含材料选择)、洁净服使用管理、洁净服的清洗规定等。
③物流管理,包括:进入洁净室的物料准入制度,物料的清理和清扫规定、“物净程序”管理、废弃物管理制度等。
④洁净室洁净棚内设备及工器具管理,包括:设备及工器具的搬人管理,清扫和清洁规定,设备及工器具的退出管理等。
⑤洁净室用净化空调系统及设备的维护管理,制定相应的操作规程、维修制度等,包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护,如,空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等。
⑥洁净室的清洁、清扫和灭菌管理,传递窗规格包括:清扫、清洁和灭菌规定,清扫和清洁设备管理,清洗和灭菌设施管理等。
⑦洁净室安全管理,包括:安全报警方面的管理制度,洁净室安全管理制度。
洁净室在设计建造、竣工验收后应进行综合性能测试、评价(详见第9章)。为了监控洁净室在使用过程中的正常运行和维护,应对洁净室的运行状况及相关的设施进行定期检查,一般定期检查的项目见表10_2[2]。

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