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家庭、工厂、公司洁净室的升级改造：
洁净室洁净棚的升级改造的设计方案制定，虽然与8.5.2节所叙述的原则应该说是基本相同的，但是由于空气洁净度等级的提升，尤其是从非单向流洁净室升级为单向流洁净室或由1 000级/100级洁净室升级改造为100级/10级／1级洁净室时，无论是净化空调系统的循环风量、洁净室的平面和空间布置和相关的洁净技术措施等都有较大的变化，因此洁净室的升级改造除了前面已叙述的设计原则外还要考虑下述因素。
(1)对洁净室的升级改造，首先应该有一个结合具体工程实际情况的好的改造方案，包括升级改造的目标及相关技术参数、原有建筑的现状等，进行认真、翔实的多设计方案的技术经济比较，这里特别应该指出的是此项比较必须包括升级改造后的运行费用的比较，尤应注意能源消耗费用的比较。为完成此项任务，业主应委托有实践经验、有相应资质的设计单位进行此项调查、咨询、规划工作。
(2)联兵洁净室的升级改造宜优先选用各种隔离技术、微环境技术或局部洁净装置或层流罩等技术手段，将需要高级别的生产工序、设备采用微环境装置等技术手段同较低级别的洁净室分隔或将整体洁净室提高至可行的空气洁净度等级，而对要求很高级别的生产工序、设备采用微环境装置等技术手段。据介绍在美国某微电子工厂拟将20世纪80年代建设的100mm硅片的生产线用100级+1 000级/10 000级洁净厂房升级改造为10级和严于10级的洁净室[7]。他们在进行了将洁净室全面改造为10级和采用带人工进入口的微环境系统‘(MAP)设计方案的技术经济比较后，采用了微环境系统的升级改造方案，以最小的升级改造费用达到所需空气洁净度等级要求，且能源消耗也低；经运行后检测每一微环境装置均达到了10级以上的综合性能。据了解，近年来许多超大规模集成电路工厂在进行洁净室升级改造或新建厂房时，将生产厂房按100级11 000级单向流洁净室进行设计建造，再按生产线各工序、设备的高级别洁净度要求采用SMIF微环境系统，达到产品生产所需空气洁净度等级，做到既减少了投资费用、降低了能源消耗，还有利于生产线的改造、扩产的要求，具有较好的灵活性，图8-17是一个1 000级洁净室和微环境系统的洁净室剖面图。
家庭、工厂、公司洁净室的升级改造
(3)洁净室升级改造时常常要增大净化空调系统的循环风量，即增大洁净室内的换气次数或平均风速。由此传递窗必然需要调整或更换净化空调装置、增加高效风口的数量、增大风管尺寸以及增大供冷（热）能力等。在实际工作中，为了降低洁净室升级改造的投资费用，做到调整变动较小，解决的办法只能是充分了解产品生产工艺情况和原有净化空调系统的情况，合理划分净化空调系统，结合运用8.5.2节叙述的原则，尽可能利用原有系统及其风管，适当增设必要的、改造工作量较少的净化空调系统。
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